半导体元器件失效分析技术与案例解析
失效分析是对已失效器件进行的一种事后检查,根据需要,使用电测试以及许多先进的物理、金相和化学的分析技术,以验证所报告的失效,确定失效模式,找出失效机理。
失效分析是对已失效器件进行的一种事后检查,根据需要,使用电测试以及许多先进的物理、金相和化学的分析技术,以验证所报告的失效,确定失效模式,找出失效机理。
微光显微镜(Emission Microscope,简称EMMI)是一种用于半导体失效分析的高效非破坏性检测工具,其主要功能是侦测集成电路内部缺陷产生的微弱光子发射信号。随着半导体工艺节点不断缩小(
本研究得到以下项目的支持:中国国家重点研发计划(2024YFE0205300)、浙江省“尖兵”“领雁”研发攻关计划(2023C01193)、国家自然科学基金(22205203)、浙江省自然科学基金(LZ25E070001)、国家高层次青年人才支持计划,以及杭州